FIB聚焦離子束加工技術簡介FIB(Focused Ion Beam)聚焦離子束加工技術是一種利用高能離子束進行納米尺度加工和分析的先進技術。它結合了離子束刻蝕和掃描電子顯微鏡(SEM)成像的功能,可廣泛應用于材料科學、電子器件制造、生物醫(yī)學和納米器件研究等領域。下面將對FIB聚焦離子束加工技術進行詳細介紹。
原理和設備: FIB聚焦離子束加工技術基于高能離子束與材料的相互作用。加速器產(chǎn)生的離子束通過光學透鏡系統(tǒng)的聚焦,將離子束的能量聚集到納米尺度的小區(qū)域內(nèi)。離子束可以通過改變聚焦強度和掃描方式來實現(xiàn)局部材料加工和成像。